內熱式真空熱處理爐與外熱式真空熱處理爐相比，結構和控制系統比較復雜，制造和安裝精度比較高，調試難度大，造價較貴。但是內熱式真空熱處理爐慣性小，熱效率較高，可以實現快速加熱和快速冷卻，使用溫度高，目前已有2200～2500℃的內熱式真空爐研制成功并用于生產，同時內熱式真空爐可以大型化，便于連續作業，自動化程度高，生產效率高。近十幾年來，內熱式真空爐迅速發展，已經成為當前真空熱處理爐的主流爐型。 kaixin100.cn
內熱式真空爐的優點主要有以下七點：
1.可以制造大型高溫爐，而不受爐罐限制；
2.加熱和冷卻速度快，生產效率高；
3.因不采用耐熱爐罐，溫度范圍廣，最高加熱溫度可達到2200℃或更高；
4.易于實現全過程的自動化，工作中無污染，環境好，操作安全；
5.爐子熱慣性小，加熱和冷卻工序循環短，熱效率高，生產效率也高；
6.爐溫均勻性好，可達±5℃，工件加熱均勻，變形微小，產品質量好；
7.加熱期間不需要保護氣氛，除非為防止金屬揮發或在低溫區提高加熱速度和爐溫均勻性通入的氣體外，一般充入氣體多采用N₂，Ar或Ne氣等。
內熱式真空爐的缺點有以下三點：
1.爐內結構復雜，爐子造價高，電氣絕緣性要求高；
2.與外熱式真空爐相比，爐內容積大，各種構件表面吸附大量氣體，需配大功率抽氣系統；
3.考慮真空放電和電氣絕緣性，要低電壓大電流供電，需配套系統。
